新材料科技與化學(xué)技術(shù)創(chuàng)新
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晶瑞電材：已啟動(dòng)ArF（193）高端光刻膠研發(fā)，KrF光刻膠完成中試
2021-12-31 08:19
12月15日，晶瑞電材在特定對(duì)象調(diào)研活動(dòng)中表示，目前ArF(193)高端光刻膠研發(fā)工作已正式啟動(dòng)，已完成光刻機(jī)、勻膠顯影機(jī)、掃描電鏡、臺(tái)階儀等設(shè)備購(gòu)置，其中ASML1900Gi型光刻機(jī)設(shè)備正在積極調(diào)試中。同時(shí)公司正在積極開(kāi)展對(duì)上游材料樹(shù)脂單體及配方的研究。
公司高端KrF(248)光刻膠已完成中試，建成了中試示范線，已進(jìn)入客戶測(cè)試階段。近期已購(gòu)得KrF光刻機(jī)一臺(tái)，可用于KrF光刻膠的曝光測(cè)試，同時(shí)公司KrF光刻膠量產(chǎn)化生產(chǎn)線正在積極建設(shè)中。
據(jù)晶瑞電材表示，此前，公司已經(jīng)購(gòu)得用于負(fù)膠、g 線、i線、ArF 等 4 臺(tái)光刻機(jī)，再加之此次購(gòu)得的KrF光刻機(jī)，公司已經(jīng)到位5臺(tái)光刻機(jī)。
來(lái)源：晶瑞電材官網(wǎng)
此外據(jù)晶瑞電材透露，晶瑞(湖北)微電子材料項(xiàng)目一期目前正在設(shè)備安裝調(diào)試階段。
據(jù)悉，2019年11月，晶瑞電材(原晶瑞股份)發(fā)布公告稱，擬在湖北省潛江市投資建設(shè)晶瑞(湖北)微電子材料項(xiàng)目，生產(chǎn)光刻膠及其相關(guān)配套的功能性材料、電子級(jí)雙氧水、電子級(jí)氨水等半導(dǎo)體及面板顯示用電子材料等，項(xiàng)目計(jì)劃總投資約為人民幣15.2億元。
晶瑞電材在該調(diào)研活動(dòng)中還表示，受益于我國(guó)半導(dǎo)體材料行業(yè)國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程提速，下游芯片廠商需求增長(zhǎng)，當(dāng)前公司主導(dǎo)產(chǎn)品半導(dǎo)體級(jí)光刻膠及配套材料、超凈高純?cè)噭囯姵夭牧系犬a(chǎn)銷兩旺。
未來(lái)隨著公司 KrF 光刻膠測(cè)試完成并逐步量產(chǎn)、ArF 光刻膠研發(fā)成功并最終量產(chǎn)，以及公司南通、陜西、四川等基地新增的高純硫酸、NMP、光刻膠等產(chǎn)品產(chǎn)能的逐步釋放，有望成為公司新的利潤(rùn)增長(zhǎng)點(diǎn)。
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